Herstellung und Charakterisierung von Dünnschicht-Mikroelektroden mit herkömmlichem und porösem Polysilizium
| Author: | Volker BucherORCiDGND |
|---|---|
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1997 |
| University: | Universität Tübingen |
| City of university: | Tübingen |
| Release Date: | 2017/06/28 |
| Page Number: | 92 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |