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Measurement of local contact zone forces in rotational grinding of silicon wafers

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Metadaten
Author:Dietmar Pähler
ISBN:978-3-8027-2957-7
Parent Title (English):Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung 2010 : neue Entwicklungen und Trends aus Forschung und Praxis / 8. Seminar "Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung" am 11.05.2010 in Stuttgart
Publisher:Vulkan Verlag
Place of publication:Villingen-Schwenningen
Document Type:Conference Proceeding
Identifier:Im Katalog der Hochschule Furtwangen ansehen
Language:English
Year of Completion:2010
Release Date:2019/03/29
First Page:6-1
Last Page:6-26
Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung : neue Entwicklungen und Trends aus Forschung und Praxis:Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung 11. Mai 2010
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt