Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen
| Author: | U. Mackens, Ulrich MeschederORCiDGND, H. Lüthje |
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| ISBN: | 3-8007-1624-0 |
| ISSN: | 0176-8867 |
| Parent Title (German): | Mikroelektronik: Vorträge der GME-Fachtagung vom 13. bis 15. März 1989 in Baden-Baden |
| Publisher: | VDE-Verlag |
| Place of publication: | Berlin |
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1989 |
| Release Date: | 2018/02/01 |
| First Page: | 115 |
| Last Page: | 126 |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |