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3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie

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Metadaten
Author:Uma Muthiah, Isman M. KhaziORCiDGND, Ulrich MeschederORCiDGND
ISBN:978-3-8007-4491-6
Parent Title (German):MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München
Publisher:VDE Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:2017
Release Date:2018/01/10
Tag:CD-ROM
First Page:692
Last Page:695
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt