In situ Prozess-Visualisierung/Optimierung und Anwendung der Atomlagenabscheidung
| Document Type: | Article (peer-reviewed) |
|---|---|
| Author: | Felix BlendingerORCiDGND, Michael Metzger, Daniel Hähnel, Monika Fleischer, Volker BucherORCiDGND |
| URL: | https://www.wotech-technical-media.de/womag/ausgabe/2018/01-02/WOMag_1-2_18_frei.pdf |
| ISSN: | 2195-5905 |
| Parent Title (German): | WOMag |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2018 |
| Release Date: | 2018/03/08 |
| Volume: | 7.2018 |
| Issue: | 1-2 |
| First Page: | 16 |
| Last Page: | 21 |
| Open-Access-Status: | Closed Access |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |