Submikrometer Linienbreitenmetrologie hoher Genauigkeit

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Metadaten
Author:Ulrich MeschederORCiDGND, K. Werner
ISBN:3-18-090795-9
Parent Title (German):Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine: Tagungsbericht, München, 09. November 1989; VDI-Berichte, 795
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:1989
Release Date:2018/01/29
First Page:155
Last Page:190
Open Access:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG