Mikromechanischer Neigungssensor für industrielle Anwendungen

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Metadaten
Author:Ulrich MeschederORCiDGND, S. Majer
ISSN:0943-7207
Parent Title (German):41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 23. - 26.09.1996, Technische Universität Ilmenau, Thüringen, Band 1 Vortragsreihen
Document Type:Conference Proceeding
Language:German
Year of Completion:1996
Release Date:2018/03/06
First Page:507
Last Page:514
Open Access:Frei verfügbar
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG