TY - CHAP A1 - Kovacs, Andras A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Jonnalagadda, Prasad A1 - Meng, X. T1 - Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen T2 - Sensoren und Messsysteme 2010 : Vorträge der 15. ITG-GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg KW - CD-ROM Y1 - 2010 SN - 978-3-8007-3260-9 ER - TY - CHAP A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Jonnalagadda, Prasad A1 - Kovacs, Andras A1 - Meng, X. T1 - Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten T2 - 63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany Y1 - 2010 SN - 978-3-8007-3216-6 SP - 105 EP - 110 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER - TY - CHAP A1 - Ivanov, Alexey A1 - Kovacs, Andras A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium T2 - 63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany KW - CD-ROM Y1 - 2010 SN - 978-3-8007-3216-6 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -