TY  - RPRT
A1  - Lange, Volker
A1  - Higelin, Gerald
T1  - Static and dynamic characterization of SI membranes
T2  - Forschungsbericht
KW  - Silicon
KW  - Membranes
Y1  - 1998
SP  - 37
EP  - 40
ER  - 
TY  - RPRT
A1  - Higelin, Gerald
A1  - Lange, Volker
T1  - Mikrotechnologie: Simulation und Analyse von ESD-Vorgängen an mikroelektronischen Schaltungen
T2  - Forschungsbericht
Y1  - 2002
SP  - 28
EP  - 30
ER  -