TY  - JOUR
A1  - Bucher, Volker
A1  - Nisch, Wilfried
T1  - Beschichtungen für Life Science: Vakuumbeschichtungstechnik und Plasmabehandlung von  
Mikrosystemen in Medizintechnik, Pharmaforschung und Biologie
JF  - Vakuum in Forschung und Praxis
Y1  - 2010
U6  - http://dx.doi.org/10.1002/vipr.201000405
SN  - 1522-2454
VL  - 22.2010
IS  - 1
SP  - 14
EP  - 24
ER  -