@inproceedings{BadeFathGuttmannetal.2000, author = {Bade, Klaus and Fath, Andreas and Guttmann, Markus and Walch, Eric}, title = {Galvanische und aussenstromlose Methoden zur Herstellung metallischer Mikrostrukturen}, series = {4. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 30./31. M{\"a}rz 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe}, booktitle = {4. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 30./31. M{\"a}rz 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe}, publisher = {Forschungszentrum Karlsruhe GmbH}, address = {Karlsruhe}, issn = {0947-8620}, pages = {199 -- 200}, year = {2000}, language = {de} }