TY - THES U1 - Dissertation oder Habilitation A1 - Soltani, Babak T1 - Laser-assisted grinding of Silicon Nitride by picosecond laser Y2 - 2022 SN - 978-3-8440-8747-5 SB - 978-3-8440-8747-5 SP - 161 S1 - 161 PB - Shaker Verlag CY - Düren ER -