TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Simon, Nicolai
A1  - Passlack, Ulrike
A1  - Stieglitz, Thomas
A1  - Blendinger, Felix
A1  - Bucher, Volker
T1  - Qualification of the Barrier Properties of ALD-coated Polymer Films with Humidity Sensors
T2  - MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany
Y1  - 2021
SN  - 978-3-8007-5656-8
SB  - 978-3-8007-5656-8
SP  - 380
EP  - 383
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  -