@techreport{MeschederSomogyiFreudenreichetal.2005,
  author    = {Mescheder, Ulrich and Somogyi, Gergoe and Freudenreich, Markus and Estan, Carlos and T{\"o}r{\"o}k, Zoltan},
  title     = {Mikrosystemtechnik: Mikrotechnische hergestelltes aktiv-optisches System f{\"u}r Fokussieraufgaben},
  series    = {Forschungsbericht},
  pages     = {31 -- 34},
  year      = {2005},
  language  = {de}
}