@techreport{MeschederKovacs2000,
  author    = {Mescheder, Ulrich and Kovacs, Andras},
  title     = {Mikrotechnologie: Herstellung von por{\"o}sem Silizium und seine Anwendungsm{\"o}glichkeit in der Sensortechnologie},
  series    = {Forschungsbericht},
  pages     = {10 -- 11},
  year      = {2000},
  language  = {de}
}