TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Werner, K.
T1  - Submikrometer Linienbreitenmetrologie hoher Genauigkeit
T2  - Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine:  Tagungsbericht, München, 09. November 1989; VDI-Berichte, 795
Y1  - 1989
SN  - 3-18-090795-9
SB  - 3-18-090795-9
SP  - 155
EP  - 190
ER  -