TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Zander, M.
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Maskenmetrologie: Anforderungen und Trends
T2  - Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht ; Tagung München, 14. November 1991
Y1  - 1991
SN  - 3-18-090935-8
SB  - 3-18-090935-8
SP  - 7
EP  - 40
PB  - VDI-Verlag
CY  - Düsseldorf
ER  -