@inproceedings{MajerMescheder1995,
  author    = {Majer, S. and Mescheder, Ulrich},
  title     = {Konzept eines planaren 2-Achsen Silizium Neigungssensors},
  booktitle = {Mikro-System-Technik : Mikromechanik \& Mikroelektronik ; Chemnitz '95 ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz},
  pages     = {112 -- 120},
  year      = {1995},
  language  = {de}
}