@inproceedings{MeschederMajer1996,
  author    = {Mescheder, Ulrich and Majer, S.},
  title     = {Mikromechanischer Neigungssensor f{\"u}r industrielle Anwendungen},
  booktitle = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium 23. - 26.09.1996, Technische Universit{\"a}t Ilmenau, Th{\"u}ringen, Band 1 Vortragsreihen},
  issn      = {0943-7207},
  pages     = {507 -- 514},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}