@inproceedings{MeschederMajerKeller1996,
  author    = {Ulrich Mescheder and S. Majer and R. Keller},
  title     = {2-Achsen Si-Neigungssensor: Simulation und Realisierung},
  series = {Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik},
  publisher = {VDI Verlag},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091255-3},
  pages     = {83 -- 93},
  year      = {1996},
  language  = {en}
}