@inproceedings{MeschederMajerKeller1996, author = {Mescheder, Ulrich and Majer, S. and Keller, R.}, title = {2-Achsen Si-Neigungssensor: Simulation und Realisierung}, booktitle = {Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik}, isbn = {3-18-091255-3}, pages = {83 -- 93}, year = {1996}, language = {en} }