TY - MGZN U1 - Beitrag zu einem Periodikum A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Somogyi, Gergoe A1 - Freudenreich, Markus A1 - Estan, Carlos T1 - Mikrotechnisch hergestellter Membranspiegel für aktive Fokussierung JF - Horizonte Y1 - 2005 SN - 1432-9174 SS - 1432-9174 IS - 27 SP - 16 EP - 20 ER -