@inproceedings{MeschederHusterKronastetal.2007, author = {Mescheder, Ulrich and Huster, Rolf and Kronast, Wolfgang and Hellmuth, Thomas and Khrennikov, Konstantin}, title = {Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung}, booktitle = {Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden}, isbn = {978-3-8007-3061-2}, pages = {4}, year = {2007}, language = {de} }