@inproceedings{KovacsJonnalagaddaMengetal.2009, author = {Kovacs, Andras and Jonnalagadda, Prasad and Meng, X. and Mescheder, Ulrich}, title = {Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus por{\"o}sem Silizium f{\"u}r biosensorische Anwendungen}, booktitle = {MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany}, isbn = {978-3-8007-3183-1}, pages = {4}, year = {2009}, language = {de} }