TY - CPAPER U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Jonnalagadda, Prasad A1 - Kovacs, Andras A1 - Meng, X. T1 - Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten T2 - 63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany Y1 - 2010 SN - 978-3-8007-3216-6 SB - 978-3-8007-3216-6 SP - 105 EP - 110 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -