TY - CPAPER U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Kovacs, Andras A1 - Malisauskaite, Aina A1 - Ivanov, Alexey A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten T2 - Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen KW - CD-ROM Y1 - 2013 SN - 978-3-8007-3555-6 SB - 978-3-8007-3555-6 SP - 185 EP - 188 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -