@inproceedings{KovacsMalisauskaiteIvanovetal.2013, author = {Kovacs, Andras and Malisauskaite, Aina and Ivanov, Alexey and Mescheder, Ulrich}, title = {Steuerung der Peaklage und der Sensitivit{\"a}t von siliziumbasierten por{\"o}sen optischen Multischichten}, booktitle = {Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen}, isbn = {978-3-8007-3555-6}, pages = {185 -- 188}, year = {2013}, language = {de} }