TY  - BOOK
U1  - Buch
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen
Y1  - 2000
SN  - 3-519-06256-9
SB  - 3-519-06256-9
SP  - 323
S1  - 323
PB  - Teubner
CY  - Stuttgart
ER  -