TY  - BOOK
U1  - Buch
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen
Y1  - 2004
SN  - 978-3-519-16256-8
SB  - 978-3-519-16256-8
IS  - 2., überarb. und erg. Auflage
SP  - 292
S1  - 292
PB  - Vieweg + Teubner
CY  - Stuttgart
ER  -