@misc{WaizeneggerOppenlaender1997, author = {Klaus Waizenegger and Thomas Oppenl{\"a}nder}, title = {Verfahren zur Mediumaufbereitung mit einem Excimer-Strahler und Excimer-Strahler zur Durchf{\"u}hrung eines solchen Verfahrens}, url = {https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat\&docid=DE000019507189C2}, year = {1997} }