TY  - GEN
A1  - Bucher, Volker
T1  - Herstellung und Charakterisierung von Dünnschicht-Mikroelektroden mit herkömmlichem und porösem Polysilizium
Y1  - 1997
UR  - https://opus.hs-furtwangen.de/frontdoor/index/index/docId/2056
ER  -