@inproceedings{KovacsMaurerMescheder2015, author = {Kovacs, Andras and Maurer, Philipp and Mescheder, Ulrich}, title = {Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Por{\"o}sen Silizium Multilayerschichten}, booktitle = {MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe}, isbn = {978-3-8007-4100-7}, pages = {547 -- 550}, year = {2015}, language = {de} }