TY - CPAPER U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Kronast, Wolfgang A1 - Lange, Volker A1 - Huster, Rolf A1 - Mescheder, Ulrich T1 - Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur T2 - MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe KW - CD-ROM Y1 - 2015 SN - 978-3-8007-4100-7 SB - 978-3-8007-4100-7 SP - 523 EP - 526 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -