@inproceedings{KronastLangeHusteretal.2015,
  author    = {Kronast, Wolfgang and Lange, Volker and Huster, Rolf and Mescheder, Ulrich},
  title     = {Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur},
  booktitle = {MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe},
  isbn      = {978-3-8007-4100-7},
  pages     = {523 -- 526},
  year      = {2015},
  language  = {de}
}