@inproceedings{KovacsJonnalagaddaMengetal.2009,
  author    = {Andras Kovacs and Prasad Jonnalagadda and X. Meng and Ulrich Mescheder},
  title     = {Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus por{\"o}sem Silizium f{\"u}r biosensorische Anwendungen},
  series = {MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany},
  publisher = {VDE-Verlag},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-8007-3183-1},
  year      = {2009},
  language  = {de}
}