TY - JOUR U1 - Zeitschriftenartikel, nicht wissenschaftlich A1 - Bade, Klaus A1 - Fath, Andreas A1 - Leskopf, Werner T1 - Galvanische Prozesse in der Mikrosystemtechnik: Effekte, Kontrolle und Steuerung JF - Metalloberfläche: MO Y1 - 1999 SN - 0026-0797 SS - 0026-0797 VL - 53.1999 IS - 9 SP - 34 EP - 38 ER -