TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Ivanov, Alexey
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Kovacs, Andras
A1  - Huster, Rolf
T1  - Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung
T2  - Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden
KW  - CD-ROM
Y1  - 2007
SN  - 978-3-8007-3061-2
SB  - 978-3-8007-3061-2
SP  - 4
S1  - 4
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -