TY - RPRT U1 - Forschungsbericht A1 - Kovacs, Andras A1 - Stoffel, A. T1 - Optimierung der Technologie und Herstellung von freitragenden Polysilizium-Membranen T2 - Forschungsbericht Y2 - 1992 SP - 30 EP - 32 S1 - 3 PB - Weka-Verlag CY - Kissing ER -