TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Ivanov, Alexey
A1  - Kovacs, Andras
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium
T2  - 63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany
KW  - CD-ROM
Y1  - 2010
SN  - 978-3-8007-3216-6
SB  - 978-3-8007-3216-6
SP  - 4
S1  - 4
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -