TY - JOUR U1 - Zeitschriftenartikel, nicht wissenschaftlich A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Kovacs, Andras T1 - 3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor JF - MikroSystemTechnik Y1 - 2005 SN - 1860-0875 SS - 1860-0875 IS - 3 SP - 7 EP - 9 ER -