@article{MeschederKovacs,
  author    = {Ulrich Mescheder and Andras Kovacs},
  title     = {3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor},
  series = {MikroSystemTechnik},
  number    = {3},
  issn      = {1860-0875},
  pages     = {7 -- 9},
  language  = {de}
}