TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Gu, Qingyun A1 - Müller, Bernhard T1 - Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie T2 - Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen KW - CD-ROM Y1 - 2013 SN - 978-3-8007-3555-6 SB - 978-3-8007-3555-6 SP - 107 EP - 110 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -