TY - RPRT U1 - Forschungsbericht A1 - Higelin, Gerald A1 - Lange, Volker T1 - Mikrotechnologie: Simulation und Analyse von ESD-Vorgängen an mikroelektronischen Schaltungen T2 - Forschungsbericht Y2 - 2002 SP - 28 EP - 30 ER -