TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Bade, Klaus A1 - Fath, Andreas A1 - Guttmann, Markus A1 - Walch, Eric T1 - Galvanische und aussenstromlose Methoden zur Herstellung metallischer Mikrostrukturen T2 - 4. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 30./31. März 2000 im Forschungszentrum Karlsruhe Y1 - 2000 SN - 0947-8620 SS - 0947-8620 SP - 199 EP - 200 PB - Forschungszentrum Karlsruhe GmbH CY - Karlsruhe ER -