TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Mescheder, Ulrich A1 - Freudenreich, Markus T1 - Charakterisierung eines bi-stabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren Haltekräften T2 - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg Y1 - 2005 SN - 978-3-8007-2926-5 SB - 978-3-8007-2926-5 PB - VDE-Verlag CY - Berlin ER -