TY  - JOUR
U1  - Zeitschriftenartikel, nicht wissenschaftlich
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Somogyi, Gergoe
A1  - Freudenreich, Markus
A1  - Estan, Carlos
T1  - Mikrotechnisch hergestellter Membranspiegel für aktive Fokussierung
JF  - Horizonte
Y1  - 2005
SN  - 1432-9174
SS  - 1432-9174
IS  - 27
SP  - 16
EP  - 20
ER  -