TY  - RPRT
U1  - Forschungsbericht
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Somogyi, Gergoe
A1  - Freudenreich, Markus
A1  - Estan, Carlos
A1  - Török, Zoltan
T1  - Mikrosystemtechnik: Mikrotechnische hergestelltes aktiv-optisches System für Fokussieraufgaben
T2  - Forschungsbericht
Y2  - 2005
SP  - 31
EP  - 34
ER  -