@techreport{MeschederSomogyiFreudenreichetal.2005,
  author    = {Ulrich Mescheder and Gergoe Somogyi and Markus Freudenreich and Carlos Estan and Zoltan T{\"o}r{\"o}k},
  title     = {Mikrosystemtechnik: Mikrotechnische hergestelltes aktiv-optisches System f{\"u}r Fokussieraufgaben},
  series = {Forschungsbericht},
  year      = {2005},
  language  = {de}
}