@inproceedings{BiermannGoekeBatheetal.2016, author = {Dirk Biermann and Sebastian Goeke and Timo Bathe and Robert A{\"s}muth}, title = {Neue Entwicklungen in der Feinstbearbeitung zur Herstellung von Funktionsoberfl{\"a}chen}, series = {Moderne Schleiftechnologie und Feinstbearbeitung : neue Entwicklungen und Trends aus Forschung und Praxis / 11. Seminar 2016}, publisher = {Hochschule Furtwangen University}, address = {Villingen-Schwenningen}, pages = {3-1 -- 3-8}, year = {2016}, language = {de} }