TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Kronast, Wolfgang
A1  - Mescheder, Ulrich
A1  - Huster, Rolf
T1  - Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen
T2  - MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany
KW  - CD-ROM
Y1  - 2009
SN  - 978-3-8007-3183-1
SB  - 978-3-8007-3183-1
SP  - 4
S1  - 4
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -