TY  - CHAP
U1  - Konferenzveröffentlichung
A1  - Khazi, Isman M.
A1  - Mescheder, Ulrich
T1  - Surface polishing of rough (110) silicon plane by HNA etching resulting from wet anisotropic KOH etching
T2  - MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe
KW  - CD-ROM
Y1  - 2015
SN  - 978-3-8007-4100-7
SB  - 978-3-8007-4100-7
SP  - 417
EP  - 420
PB  - VDE-Verlag
CY  - Berlin
ER  -